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PSD位置测量系统
PSD位置测量系统
PSD位置测量系统
独特的锁相放大模式
工作距离：2-2000mm
位置分辨率：10nm-1um
响应带宽：10KHz
调制频率：10KHz-500KHz
测量范围：±1mm/±2mm/±5mm/±10mm
PSD位置测量系统
